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| 型號 | JL-D16 |
|---|---|
| 研磨盤外徑 | 1127mm |
| 夾具(游星輪)直徑 | 直徑 370 mm DP12, 200齒 |
| 夾具(游星輪)數量 | 5 組 |
| 每次總加工數量 | 6"晶圓: 15片 (3片/一個夾具) 8"晶圓: 5片 (1片/一個夾具) 12"晶圓: 5片 (1片/一個夾具) |
| 自動厚度控制 | 可選配 |
| 加壓方式 | 氣壓缸加壓 |
| 壓力控制方式 | 電控比例閥 |
| 人機介面 | 可選配 |
| 控制方式 | PLC + 人機介面 |
| 內齒輪轉盤 | 3HP |
| 上磨盤驅動力 | 5HP |
| 下磨盤驅動力 | 15HP |
| 盤面轉速 | 20~60 R.P.M. |
| 磨盤壓力 | 10~300 kg |
| 加工厚度 | 10~300 kg |
| 最小加工厚度 | 0.4 mm |
| 機器尺寸 | W:2300 x D:1420 x H:2550mm |
| 機器重量 | 6200 kg |
| 適用電源 | 3? 220V (3? 380V) |
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