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武漢華工激光工程有限責任公司
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晶圓激光標記設備

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更新時間：2022-06-28 09:46:15瀏覽次數：446次

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面向半導體行業，采用晶圓機械手配合外同軸視覺定位等技術，實現2-6英寸晶圓全自動激光標刻。 平均功率 5W/20W ......
產品優勢
  • 01
    高自動化

    晶圓專用機械手自動取放，自動對焦


  • 02
    強兼容性

    搭配不同光源，可適應不同精度等級標識


  • 03
    高容錯率

    智能化，視覺定位+自動尋邊，容錯率高


技術參數
項目主要技術參數
激光器參數設備型號LSF20LSU5EB
激光光源光纖激光器紫外激光器
激光波長1064nm355nm
平均功率20W5W
加工性能加工精度±0.1mm±0.05mm
幅面150×150mm150×150mm
支持文檔格式bmp,jpg,png,ai,dxf,dst,plt
其他供電規格2.0KW/AC220V/50HZ
環境要求0-40℃＜35℃
整機尺寸（長×寬×高）1250mm*900mm*1900mm


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