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高反光物料的瑕疵檢測，尤其是比較細微的劃痕檢測，是目前行業的一大難點。由此靈猴機器人推出了高性能內同軸遠心鏡頭，可的解決這一難點。
高性能內同軸遠心鏡頭系列產品是專門為平面高精度測量和缺陷檢測而設計的，主要是為了解決目前高反光平面物料表面上的細微劃痕難以檢測的問題。
適用行業

• 3C
• 半導體
• 玻璃與金屬加工

應用解決方案

• 手機屏幕表面細微劃痕檢測
• 硅片圖案識別
• 拋光金屬表面、塑料和玻璃面板缺陷檢測
• 反光平面凹凸點檢測
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