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激光燒蝕法切割技術簡介
閱讀:520 發布時間:2021-9-14
激光燒蝕法切割技術是利用傳統的激光器切割金屬箔,必須采用氣體噴嘴來吹出熔化物,并且需要專門的輪廓匹配的切割工具。除了工具方面的成本外,用于熔化金屬的氣體流動還能夠引起金屬箔變形,相對較高的能量輸入也會使金屬箔彎曲,并且會在切割邊緣形成脊狀突起。利用短脈沖激光器切割金屬箔,其激光束多次經過切割路徑,逐漸作用于被切割的材料上。另外,在工件的固定方面,只需要將金屬箔吸附在穿孔的板上就足以固定金屬箔了
超短脈沖激光器具有小而窄的聚焦點,可用于切割小于20μm的寬度。利用激光器切割芯片可以獲得高得多的封裝密度,使得它與傳統技術相比,有可能在每個晶圓上獲得大約兩倍數量的芯片。皮秒激光也給支架切割帶來了利好。與傳統的生產工藝相比,皮秒激光不但能節省昂貴的材料和涂飾費用,并且還減少了浪費。超短脈沖激光已經可以成功地切割硅晶圓,這使得獲得更輕更薄的晶圓成為可能。
有了這些短脈沖和超短脈沖激光器,使得激光加工幾乎對材料已經沒有任何限制,并且能夠獲得的加工精度。未來,超短脈沖潛在的應用領域非常廣泛,從生物組織到材料堆棧和復合材料的加工,尤其是加工CFRP(碳纖維增強塑料)這種不容易處理的材料。