設備參數
蔡司 測量儀 | 測頭掃描環規精度圓度偏差 | 1.2um以內 |
X/Y/Z測量行程 | 1200mm*2400mm*1000mm | |
被測工件最大質量 | 5000kg | |
最大工件尺寸 | 3140*1590*1151mm | |
最大掃描速度 | 200mm/S | |
長度測量精度 | 1.3μm+L/350 |
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