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　　很多做精密設備的朋友大部分都不能清晰的區(qū)分精度/重復精度，反向誤差/系統(tǒng)偏差，等等這些方面的這個指標的區(qū)別，更不清楚影響精密設備精度的原因和控制方法，甚至理所當然的認為裝了光柵尺或者磁珊尺，尺你的精度，就應該是尺子的精度這些，等等這些都是不全面不客觀的這個觀點，針對這個情況呢小編在本文中做了分享。
　　一、首先定位精度A的概念是指運動的概念是指運動部件在運動終點，所達到的實際位置的精度與預期位置之間的這個誤差稱之為定位精度，比如呢要求在一個軸上面走10毫米，實際上他走了10.01毫米，多出來的這個0.01毫米就是定位精度。從激光干涉儀的指標數(shù)據(jù)來看，紅色線外的這個曲線呢值與最小值的差，值就為定位精度，重復定位精度R，是指運動部件在多個國家GB標準是五次以上實際位置之間的這個的一個誤差，例如要求在一個軸上面重復走了10毫米，結果呢次找了10.01毫米第二次呢找了9.98毫米，第三次呢走了10.03毫米，實際的位置的的位置的差距是0.05毫米，那這個數(shù)據(jù)呢就是重復定位精度。　　二、從激光干涉儀的數(shù)據(jù)上面來分析就是除平均線紅色線外，與最小值的差值啊為重復定位精度，反向誤差B是指伺服電機或者直線電機等，或者運動平合，正向運動之后突然變成反向運動之后，反向相反的時候呢在一定的角度內，盡管呢電機轉動但是呢傳統(tǒng)的這個傳統(tǒng)鏈還要等間隙消除之后，尤其是受力一側，以后才能帶動工作合的這個運動，這個間隙呢就是反向誤差，比如呢伺服電機上輸入1萬個脈沖，運動的部件呢走了1毫米，再輸入10000個脈沖，讓運動部件反向走1毫米，但是由于滾珠絲桿存在一定的間隙，因此有部分的脈沖是用于電機空轉并未實際帶動運動部件的這個運動，因此最后實際并沒走到1毫米，而這少走的距離就是反向誤差，在激光干涉儀曲線里面表現(xiàn)就是同一個位置兩條線平均線啊，紅色曲線的這個差值為反向誤差的部分
　　三、平均反向誤差B，是指部件在運動過程中回程的每一個位置，都會產(chǎn)生反向間隙，每一個位置的反向間隙值在除以點數(shù)即平均值為平均反向間誤差
　　四、系統(tǒng)偏差E，是指在重復性條件下對同一個被測進行無阻多次的測量結果的平均值，減去被測值的這個真值，在激光干涉儀測量曲線中的表現(xiàn)就是例如，在同一個軸上運動部件重復走兩個來回去層和分層分別算出平均值，即下圈的這個紅線，這個兩個平均值的誤差就是系統(tǒng)的偏差。
　　五、單向系統(tǒng)和這個是指的同一個方向在重復性條件下對同一個被測量這個軸進行無阻多次測量結果的平均值，減去被測量的這個真值，在激光干涉儀的曲線的數(shù)據(jù)表現(xiàn)是同一個方向，值與最小值的差距就是單項系統(tǒng)偏差
　　六、單項重復性R+ R- ，同一個方向運動部件在多次啊國家標準五次以上，運動到同一個終點所達到的實際的位置之間的誤差，在干涉儀曲線同一個方向，同一個位置值和最小值的差，值為單向重復性
　　七、單向精度
　　同一個方向，運動部件在運動終點所達到的實際位置的精度，實際位置與預期位置之間的誤差稱為定位誤差，在激光干涉儀里面表現(xiàn)的數(shù)據(jù)是同一個方向平均線，紅色曲線外的曲線的值與最小值的差值為精度